TaN/NiCr

电阻层

Sputter

5Ω/□～200Ω/□；温度系数：-20±60ppm（-50~150℃）

TiW

黏附层/阻挡层

Sputter

20nm～80nm

Ti

黏附层

Sputter

20nm～80nm

Cr

黏附层

Sputter

20nm～80nm

Pt

阻挡层

Sputter

20nm～100nm

Ni

阻挡层

Sputter or plate

Sputter：0.1μm～1μm plate： 0.5μm～10μm

Cu

导体

Sputter or plate

Sputter：0.1μm～5μm plate： 1μm～10μm

Au

导体

Sputter or plate

Sputter：0.05μm～0.2μm plate： 0.3μm～10μm